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太陽能發電新能源硅晶片凈化工程設計方案解決
發布時間：2021-06-19 01:43:43 | 作者： admin | 來源： 本站
太陽能發電新能源硅晶片是由光伏材料生產加工而成的一片片像浴室鏡子一樣明亮的圓片，是生產制造半導體材料集成電路芯片集成ic的原料。現階段微電子技術產業鏈迅猛發展，集成電路芯片技術性已邁進0.18μm下列的時期，巨大地刺激性了太陽能發電新能源硅晶片的發展趨勢，另外對太陽能發電新能源硅晶片的技術參數的規定也是有很大的提升，因而太陽能發電新能源硅晶片的發展前途十分開朗。
一、太陽能發電新能源硅晶片的生產制造生產流程
從大的層面而言，太陽能發電新能源硅晶片生產制造包含硅單晶棒生產制造和太陽能發電新能源硅晶片生產制造兩絕大多數，細分化為下列幾個關鍵工藝流程：單晶體棒生長發育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角（圓邊）-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻加工（有機化學蝕刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工藝）-PTA熱處理工藝-反面損害解決-打磨拋光（ML粗拋、ML精拋）-清洗-質量查驗-無塵包裝 從單晶體棒生長發育到直徑切削為硅單晶棒生產制造工藝流程，切成片之后的步驟為太陽能發電新能源硅晶片生產制造工藝流程。詳細介紹太陽能發電新能源硅晶片生產制造工藝流程的空氣凈化系統系統軟件和自動化控制系統軟件的方案設計。
二、空氣凈化系統系統軟件
空氣凈化系統的設計方案是與加工工藝的合理布局、生產制造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業廠房空氣凈化系統系統軟件都各有特色，下邊來詳細介紹太陽能發電新能源硅晶片生產制造工藝流程的空氣凈化系統系統軟件計劃方案。
1、切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規定，設風冷熱泵分體式柜機空調機（PAC）來確保屋子溫度規定，房間內機就近原則置放在生產車間內，接風洗塵管，選用兩層百葉風口側排風方法；空調室外機置放在平屋面上。切成片室的風量很大，新風系統選用立即揮發式熱泵機組型房頂空調S1-1和S1-2來填補。生產車間有防污規定，風冷熱泵分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器空氣過濾網（空氣塵記數高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），一樣房頂式空調應設二級過濾裝置。
2、爐室、BSD室僅有溫控規定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規定，房間內機就近原則置放在生產車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統由鄰近凈化室正壓力回來。生產車間有防污規定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒）。
3、磨光片診斷室有溫度和環境濕度操縱規定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規定，房間內機就近原則置放在生產車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統經新風機組（MAU-1、2）解決后，引至排風管上送至房間內，空氣濕度由新風機組來確保。新風機組是與凈化設備同用的。生產車間有防污規定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），新風機組下設粗、中效過濾器。
三、凈化設備
太陽能發電新能源技術潔凈工程 系統軟件用的新風系統空調機組（MAU）和循環系統空調機組（AHU）的制冷劑采用6-11℃的冷藏水，加溫采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的無塵蒸汽加濕，無塵蒸汽由純水經無塵蒸汽產生器造成。
1、CP室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，CP室工藝技術用酸量較多，采用全新風系統空調機組（MAU-3） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。其氣旋步驟為：新風系統通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-高效送風口排風-潔凈區。
2、ML室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環系統發電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統接自其他系統軟件同用MAU-1、2新風系統組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、無塵包裝間凈化處理等級為6 級，換風取名為50次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環系統發電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統接自其他系統軟件同用的MAU-1、2新風系統組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣旋方式為頂端高效送風口正壓送風口排風，屋子側下百葉風口送風。其氣旋步驟為：新送風混和!中效過濾器空氣過濾網-翅片換熱器-通風機-排風管-高效率空氣過濾網正壓送風口-潔凈區-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。
5、清洗室、質量診斷室凈化處理等級為7 級，采用新風機組（MAU） 循環系統發電機組（AHU） 離心風機過濾裝置模塊（FFU )）的中央空調方法。采用的氣旋方式為頂端FFU排風，屋子側下百葉風口送風。FFU布滿率是33%，清洗室、質量診斷室對NH4 、SQx濃度值有規定，需要在循環系統發電機組（AHU）內加設有機化學過濾裝置。5級凈化處理間的氣旋步驟為：新送風混和-有機化學過濾裝置（NH4 ）-有機化學過濾裝置（SQx）-中效過濾器-翅片換熱器-通風機-排風管-排風靜壓箱-離心風機過濾裝置模塊（FFU）-潔凈區-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。新風系統接自其他系統軟件同用的MAU-1、2新風系統組。
6、除CP戶外的凈化室所需新風系統采用2臺新風機組（MAU-1、2）集中化運輸，新風系統集中化運輸后送至各循環系統發電機組（AHU）。其氣旋步驟為：新風系統通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-各循環系統空調機組（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多，CP室、ML房間內的高效送風口正壓送風口的擴散板需采用不銹鋼板材制做，清洗房間內的FFU的鋼網需采用不銹鋼板材制做。
8、另特別注意，質量診斷室依據加工工藝規定需采用灰黑色板墻、灰黑色現澆板，相對應采用灰黑色送風口，FFU的鋼網需采用灰黑色鋼網。
四、凈化設備的中央空調自動控制系統
新風機組（MAU-1、2）采用變頻式離心風機，由總排風管上的負壓感應器來操縱變頻調速器。在連接每一個排風量及正壓力操縱循環系統發電機組（AHU）的新風系統管上均設定電動蝶閥，由各凈化室的正壓力值來調整電動蝶閥的開啟度，使凈化室的正壓力值不隨生產線設備的風量的轉變而轉變，電動蝶閥的開啟度轉變造成總排風管上的負壓轉變，依據其預設值調整AHU-1、2的離心風機頻率，以做到操縱目地。
1、凈化車間/凈化車間的溫度濕度操縱
凈化處理生產制造凈化車間的環境濕度是由新風機組MAU-1、2來確保，操縱新風機組排風情況點，依據排風情況預設值來調整干蒸氣空氣加濕器的電動式執行器和翅片換熱器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內濕度光敏電阻器HE持續整定值。凈化處理生產制造凈化車間的溫度是由循環系統發電機組AHU來確保的，依據室溫來調整翅片換熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。
2 、制冷控制系統
冷藏水系統軟件層面選用一級泵，用負載操縱的方式 來明確制冷機組及相對應離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數量。依據設置供、智能回水壓力差來自動控制系統供、智能回水負責人中間壓力差總流量進氣閥。
一、太陽能發電新能源硅晶片的生產制造生產流程
從大的層面而言，太陽能發電新能源硅晶片生產制造包含硅單晶棒生產制造和太陽能發電新能源硅晶片生產制造兩絕大多數，細分化為下列幾個關鍵工藝流程：單晶體棒生長發育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角（圓邊）-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻加工（有機化學蝕刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工藝）-PTA熱處理工藝-反面損害解決-打磨拋光（ML粗拋、ML精拋）-清洗-質量查驗-無塵包裝 從單晶體棒生長發育到直徑切削為硅單晶棒生產制造工藝流程，切成片之后的步驟為太陽能發電新能源硅晶片生產制造工藝流程。詳細介紹太陽能發電新能源硅晶片生產制造工藝流程的空氣凈化系統系統軟件和自動化控制系統軟件的方案設計。
二、空氣凈化系統系統軟件
空氣凈化系統的設計方案是與加工工藝的合理布局、生產制造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業廠房空氣凈化系統系統軟件都各有特色，下邊來詳細介紹太陽能發電新能源硅晶片生產制造工藝流程的空氣凈化系統系統軟件計劃方案。
1、切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規定，設風冷熱泵分體式柜機空調機（PAC）來確保屋子溫度規定，房間內機就近原則置放在生產車間內，接風洗塵管，選用兩層百葉風口側排風方法；空調室外機置放在平屋面上。切成片室的風量很大，新風系統選用立即揮發式熱泵機組型房頂空調S1-1和S1-2來填補。生產車間有防污規定，風冷熱泵分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器空氣過濾網（空氣塵記數高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），一樣房頂式空調應設二級過濾裝置。
2、爐室、BSD室僅有溫控規定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規定，房間內機就近原則置放在生產車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統由鄰近凈化室正壓力回來。生產車間有防污規定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒）。
3、磨光片診斷室有溫度和環境濕度操縱規定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規定，房間內機就近原則置放在生產車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統經新風機組（MAU-1、2）解決后，引至排風管上送至房間內，空氣濕度由新風機組來確保。新風機組是與凈化設備同用的。生產車間有防污規定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），新風機組下設粗、中效過濾器。
三、凈化設備
太陽能發電新能源技術潔凈工程 系統軟件用的新風系統空調機組（MAU）和循環系統空調機組（AHU）的制冷劑采用6-11℃的冷藏水，加溫采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的無塵蒸汽加濕，無塵蒸汽由純水經無塵蒸汽產生器造成。
1、CP室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，CP室工藝技術用酸量較多，采用全新風系統空調機組（MAU-3） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。其氣旋步驟為：新風系統通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-高效送風口排風-潔凈區。
2、ML室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環系統發電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統接自其他系統軟件同用MAU-1、2新風系統組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、無塵包裝間凈化處理等級為6 級，換風取名為50次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環系統發電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統接自其他系統軟件同用的MAU-1、2新風系統組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣旋方式為頂端高效送風口正壓送風口排風，屋子側下百葉風口送風。其氣旋步驟為：新送風混和!中效過濾器空氣過濾網-翅片換熱器-通風機-排風管-高效率空氣過濾網正壓送風口-潔凈區-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。
5、清洗室、質量診斷室凈化處理等級為7 級，采用新風機組（MAU） 循環系統發電機組（AHU） 離心風機過濾裝置模塊（FFU )）的中央空調方法。采用的氣旋方式為頂端FFU排風，屋子側下百葉風口送風。FFU布滿率是33%，清洗室、質量診斷室對NH4 、SQx濃度值有規定，需要在循環系統發電機組（AHU）內加設有機化學過濾裝置。5級凈化處理間的氣旋步驟為：新送風混和-有機化學過濾裝置（NH4 ）-有機化學過濾裝置（SQx）-中效過濾器-翅片換熱器-通風機-排風管-排風靜壓箱-離心風機過濾裝置模塊（FFU）-潔凈區-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。新風系統接自其他系統軟件同用的MAU-1、2新風系統組。
6、除CP戶外的凈化室所需新風系統采用2臺新風機組（MAU-1、2）集中化運輸，新風系統集中化運輸后送至各循環系統發電機組（AHU）。其氣旋步驟為：新風系統通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-各循環系統空調機組（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多，CP室、ML房間內的高效送風口正壓送風口的擴散板需采用不銹鋼板材制做，清洗房間內的FFU的鋼網需采用不銹鋼板材制做。
8、另特別注意，質量診斷室依據加工工藝規定需采用灰黑色板墻、灰黑色現澆板，相對應采用灰黑色送風口，FFU的鋼網需采用灰黑色鋼網。
四、凈化設備的中央空調自動控制系統
新風機組（MAU-1、2）采用變頻式離心風機，由總排風管上的負壓感應器來操縱變頻調速器。在連接每一個排風量及正壓力操縱循環系統發電機組（AHU）的新風系統管上均設定電動蝶閥，由各凈化室的正壓力值來調整電動蝶閥的開啟度，使凈化室的正壓力值不隨生產線設備的風量的轉變而轉變，電動蝶閥的開啟度轉變造成總排風管上的負壓轉變，依據其預設值調整AHU-1、2的離心風機頻率，以做到操縱目地。
1、凈化車間/凈化車間的溫度濕度操縱
凈化處理生產制造凈化車間的環境濕度是由新風機組MAU-1、2來確保，操縱新風機組排風情況點，依據排風情況預設值來調整干蒸氣空氣加濕器的電動式執行器和翅片換熱器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內濕度光敏電阻器HE持續整定值。凈化處理生產制造凈化車間的溫度是由循環系統發電機組AHU來確保的，依據室溫來調整翅片換熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。
2 、制冷控制系統
冷藏水系統軟件層面選用一級泵，用負載操縱的方式 來明確制冷機組及相對應離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數量。依據設置供、智能回水壓力差來自動控制系統供、智能回水負責人中間壓力差總流量進氣閥。
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